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专利名称：一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀

专利类型：实用新型专利

专利申请号：CN202210854015.9

专利申请（专利权）人：斯麦提克(昆山)精密机械有限公司
权利人地址：江苏省苏州市昆山市玉山镇水秀路1911号8号房304室

专利发明（设计）人：刘生玉,陆文军

专利摘要：本申请实施例公开了一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，包括阀管本体、单向阀芯部件，且单向阀芯部件套设置在阀管本体中部的内侧，且阀管本体中部的内侧设置为台阶状中空腔体，所述阀管本体的两端均固定套接有外密封部件。本申请所设置的外密封部件、内密封部件、联动部件、锁合部件、流道槽、进液管以及排液管件配合阀管本体组装后，可形成清洗除酸机构，后续配合阀管本体、单向阀芯部件形成的单向阀共同使用后，可在单向阀输送清洗设备产生酸性废液的使用暂停间隙，对单向阀芯部件整体以及阀管本体的内壁进行快速冲洗，除酸，避免单向阀芯部件以及阀管本体内壁被腐蚀，提升单向阀的使用寿命。

主权利要求：
1.一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，包括阀管本体(1)、单向阀芯部件(2)，且单向阀芯部件(2)套设置在阀管本体(1)中部的内侧，且阀管本体(1)中部的内侧设置为台阶状中空腔体，所述单向阀芯部件(2)的内部包括有锥形中空堵头(21)、压缩弹簧(22)、固定套板(23)，且固定套板(23)固定套接在阀管本体(1)一端的内侧，且固定套板(23)的一侧与压缩弹簧(22)的一端固定连接，所述压缩弹簧(22)的另一端固定连接在锥形中空堵头(21)一端的内壁中，且锥形中空堵头(21)一端的顶部和底部均开设有贯穿的让位孔，且锥形中空堵头(21)一端的端面与阀管本体(1)中部内侧的台阶状中空腔体紧密贴合，其特征在于：所述阀管本体(1)的两端均固定套接有外密封部件(3)，且外密封部件(3)的内侧卡接有内密封部件(4)而内密封部件(4)的两端分别延伸到外密封部件(3)顶部的外侧和延伸至阀管本体(1)的中空腔体中并于中空腔体的内部紧密贴合，所述内密封部件(4)中部的内侧开设有流道槽(7)，且流道槽(7)的一端套设进液管(8)，所述阀管本体(1)中部的表面安装有联动部件(5)，且联动部件(5)顶部的两侧与两个内密封部件(4)的顶部之间均设置有锁合部件(6)，所述阀管本体(1)中部的内壁开设有环形槽(9)，且环形槽(9)的内侧与单向阀芯部件(2)的一端安装有测压部件(10)，所述测压部件(10)的内部包括有压力传感器(101)、弹性密封片(102)以及同步顶压杆(103)，且压力传感器(101)与弹性密封片(102)均固定套接在环形槽(9)的内部，且压力传感器(101)一侧的侧面与弹性密封片(102)一侧的侧面紧密贴合，所述弹性密封片(102)另一侧的侧面活动连接有固定套板(23)，所述固定套板(23)的另一端以卡接的方式贯穿阀管本体(1)台阶状中空腔体固定连接在锥形中空堵头(21)一端的表面，所述压力传感器(101)通过导线电性连接有控制器(12)，所述阀管本体(1)一端的底部固定套接有排液管件(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，其特征在于：所述阀管本体(1)采用两段式组合结构，且组合处采用螺栓和螺母进行固定安装。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，其特征在于：两个所述外密封部件(3)的内部均包括一个第一过渡管(31)、一个第二过渡管(32)以及一个辅助密封圈(33)，且；两个第一过渡管(31)的一端分别固定套接在阀管本体(1)两端顶部的内侧并均于阀管本体(1)的内部空间贯通，所述第一过渡管(31)的另一端与第二过渡管(32)的一端通过螺栓和螺母固定安装，所述辅助密封圈(33)固定套接在第二过渡管(32)另一端的内侧。
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，其特征在于：两个所述内密封部件(4)均由T型杆(41)和主密封圈(42)组成，且主密封圈(42)固定套接在T型杆(41)底部的表面，所述主密封圈(42)的顶部和底部分别与第一过渡管(31)底部的内壁和阀管本体(1)的内壁紧密贴合，所述T型杆(41)与第一过渡管(31)之间、T型杆(41)与第二过渡管(32)之间均处于活动套接，所述T型杆(41)和辅助密封圈(33)之间处于卡接并延伸到辅助密封圈(33)顶部的外侧，所述T型杆(41)的顶部与进液管(8)的一端固定套接。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，其特征在于：所述联动部件(5)由电动推杆(51)和联动板(52)组成，且电动推杆(51)的输出端与联动板(52)中部的底面固定连接，所述电动推杆(51)底部的表面与阀管本体(1)顶部的表面之间固定连接有支座。
6.根据权利要求5所述的一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，其特征在于：所述锁合部件(6)的内部包括有螺纹杆(61)、锁合螺母(62)、限位套(63)，且螺纹杆(61)与锁合螺母(62)分别固定连接在T型杆(41)的顶面和固定套接在T型杆(41)顶部的表面，所述螺纹杆(61)的中部卡接在电动推杆(51)的内侧，且螺纹杆(61)的顶部与限位套(63)螺纹连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，其特征在于：排液管件(11)由中空管体和密封盖，且密封盖与中空管体的一端螺纹锁合。 说明书 : 一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀技术领域[0001] 本申请涉及单向阀技术领域，更具体地，涉及一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀。背景技术[0002] 目前以半导体硅为原料制成的晶体硅片加工过程中，其中必不可少的加工工序之一是对晶体硅片进行刻蚀的工序，通常是采用酸性刻蚀溶液对晶体硅片其进行刻蚀加工，且刻蚀加工完成后需要用水进行清洗，但是由于晶体硅片残留的酸性刻蚀溶液，清洗产生也会带有一定的腐蚀性，而现清洗设备所使用的单向阀(现有的单向阀是流体只能沿进水口流动，出水口介质却无法回流阀门部件，又称止回阀或逆止阀。用于液压系统中防止油流反向流动，或者用于气动系统中防止压缩空气逆向流动，单向阀与管路的连接的有多种方式，其中包括螺纹连接、板式连接和法兰连接等连接方式)，其并不具备耐腐蚀性，自身内部的小件金属零件的使用寿命会大大缩减，而在不考虑使用成本的频换的更换，对于具有的连接管路也造造成损伤，并会增大工作人员的作业负担，因此针对上述问题，本申请将提供一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀来解决。发明内容[0003] 鉴于上述问题，本申请提出了一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，以改善上述问题。[0004] 为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，包括阀管本体、单向阀芯部件，且单向阀芯部件套设置在阀管本体中部的内侧，且阀管本体中部的内侧设置为台阶状中空腔体，所述阀管本体的两端均固定套接有外密封部件，且外密封部件的内侧卡接有内密封部件而内密封部件的两端分别延伸到外密封部件顶部的外侧和延伸至阀管本体的中空腔体中并于中空腔体的内部紧密贴合，所述内密封部件中部的内侧开设有流道槽，且流道槽的一端套设进液管，所述阀管本体中部的表面安装有联动部件，且联动部件顶部的两侧与两个内密封部件的顶部之间均设置有锁合部件，所述阀管本体中部的内壁开设有环形槽，且环形槽的内侧与单向阀芯部件的一端安装有测压部件，所述阀管本体一端的底部固定套接有排液管件。[0005] 可选的，所述单向阀芯部件的内部包括有锥形中空堵头、压缩弹簧、固定套板，且固定套板固定套接在阀管本体一端的内侧，且固定套板的一侧与压缩弹簧的一端固定连接，所述压缩弹簧的另一端固定连接在锥形中空堵头一端的内壁中，且锥形中空堵头一端的顶部和底部均开设有贯穿的让位孔，且锥形中空堵头一端的端面与阀管本体中部内侧的台阶状中空腔体紧密贴合。[0006] 可选的，所述阀管本体采用两段式组合结构，且组合处采用螺栓和螺母进行固定安装。[0007] 可选的，两个所述外密封部件的内部均包括一个第一过渡管、一个第二过渡管以及一个辅助密封圈，且；两个第一过渡管的一端分别固定套接在阀管本体两端顶部的内侧并均于阀管本体的内部空间贯通，所述第一过渡管的另一端与第二过渡管的一端通过螺栓和螺母固定安装，所述辅助密封圈固定套接在第二过渡管另一端的内侧。[0008] 可选的，两个所述内密封部件均由T型杆和主密封圈组成，且主密封圈固定套接在T型杆底部的表面，所述主密封圈的顶部和底部分别与第一过渡管底部的内壁和阀管本体的内壁紧密贴合，所述T型杆与第一过渡管之间、T型杆与第二过渡管之间均处于活动套接，所述T型杆和辅助密封圈之间处于卡接并延伸到辅助密封圈顶部的外侧，所述T型杆的顶部与进液管的一端固定套接。[0009] 可选的，所述联动部件由电动推杆和联动板组成，且电动推杆的输出端与联动板中部的底面固定连接，所述电动推杆底部的表面与阀管本体顶部的表面之间固定连接有支座。[0010] 可选的，所述锁合部件的内部包括有螺纹杆、锁合螺母、限位套，且螺纹杆与锁合螺母分别固定连接在T型杆的顶面和固定套接在T型杆顶部的表面，所述螺纹杆的中部卡接在电动推杆的内侧，且螺纹杆的顶部与限位套螺纹连接。[0011] 可选的，所述测压部件的内部包括有压力传感器、弹性密封片以及同步顶压杆，且压力传感器与弹性密封片均固定套接在环形槽的内部，且压力传感器一侧的侧面与弹性密封片一侧的侧面紧密贴合，所述弹性密封片另一侧的侧面活动连接有固定套板，所述固定套板的另一端以卡接的方式贯穿阀管本体台阶状中空腔体固定连接在锥形中空堵头一端的表面，所述压力传感器通过导线电性连接有控制器。[0012] 可选的，排液管件由中空管体和密封盖，且密封盖与中空管体的一端螺纹锁合。[0013] 本申请提供的一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，具备以下有益效果：[0014] 1、本申请所设置的外密封部件、内密封部件、联动部件、锁合部件、流道槽、进液管以及排液管件配合阀管本体组装后，可形成清洗除酸机构，后续配合阀管本体、单向阀芯部件形成的单向阀共同使用后，可在单向阀输送清洗设备产生酸性废液的使用暂停间隙，对单向阀芯部件整体以及阀管本体的内壁进行快速冲洗，除酸，避免单向阀芯部件以及阀管本体内壁被腐蚀，提升单向阀的使用寿命。[0015] 2、本申请通过外密封部件、内密封部件、联动部件、锁合部件、流道槽、进液管以及排液管件配合阀管本体组装形成清洗除酸机构，对阀管本体、单向阀芯部件形成的单向阀行快速冲洗，除酸过程中，具备独立性，不会干涉到管路的功能。[0016] 3、本申请所设置的测压部件、控制器配合组装后，形成对单向阀芯部件在阀管本体内部复位的测压结构，及时发现单向阀芯部件的移动异常，更换整体单向阀，降低损失。附图说明[0017] 为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0018] 图1示出了本申请结构的剖视示意图；[0019] 图2示出了本申请结构的正视示意图；[0020] 图3示出了本申请结构的后视示意图；[0021] 图4示出了本申请结构阀管本体的剖视示意图；[0022] 图5示出了本申请结构图1中A处的放大示意图。[0023] 图中：1、阀管本体；2、单向阀芯部件；21、锥形中空堵头；22、压缩弹簧；23、固定套板；3、外密封部件；31、第一过渡管；32、第二过渡管；33、辅助密封圈；4、内密封部件；41、T型杆；42、主密封圈；5、联动部件；51、电动推杆；52、联动板；6、锁合部件；61、螺纹杆；62、锁合螺母；63、限位套；7、流道槽；8、进液管；9、环形槽；10、测压部件；101、压力传感器；102、弹性密封片；103、同步顶压杆；11、排液管件；12、控制器。具体实施方式[0024] 下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。[0025] 请参阅图1、图5，本发明提供一种技术方案：一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，包括阀管本体1、单向阀芯部件2，阀管本体1采用两段式组合结构，且组合处采用螺栓和螺母进行固定安装，阀管本体1采用两段式组合结构可方便后续的维修，且单向阀芯部件2套设置在阀管本体1中部的内侧，单向阀芯部件2的内部包括有锥形中空堵头21、压缩弹簧22、固定套板23，且固定套板23固定套接在阀管本体1一端的内侧，且固定套板23的一侧与压缩弹簧22的一端固定连接，压缩弹簧22的另一端固定连接在锥形中空堵头21一端的内壁中，且锥形中空堵头21一端的顶部和底部均开设有贯穿的让位孔，且锥形中空堵头21一端的端面与阀管本体1中部内侧的台阶状中空腔体紧密贴合，且阀管本体1中部的内侧设置为台阶状中空腔体，阀管本体1的两端均固定套接有外密封部件3，两个外密封部件3的内部均包括一个第一过渡管31、一个第二过渡管32以及一个辅助密封圈33，且；两个第一过渡管31的一端分别固定套接在阀管本体1两端顶部的内侧并均于阀管本体1的内部空间贯通，第一过渡管31的另一端与第二过渡管32的一端通过螺栓和螺母固定安装，辅助密封圈33固定套接在第二过渡管32另一端的内侧，外密封部件3为后续设置的部件提供安装支撑和密封保护的使用条件。[0026] 请参阅图1、图2、图3，外密封部件3的内侧卡接有内密封部件4而内密封部件4的两端分别延伸到外密封部件3顶部的外侧和延伸至阀管本体1的中空腔体中并于中空腔体的内部紧密贴合，内密封部件4中部的内侧开设有流道槽7，且流道槽7的一端套设进液管8，两个内密封部件4均由T型杆41和主密封圈42组成，且主密封圈42固定套接在T型杆41底部的表面，主密封圈42的顶部和底部分别与第一过渡管31底部的内壁和阀管本体1的内壁紧密贴合，T型杆41与第一过渡管31之间、T型杆41与第二过渡管32之间均处于活动套接，T型杆41和辅助密封圈33之间处于卡接并延伸到辅助密封圈33顶部的外侧，T型杆41的顶部与进液管8的一端固定套接，内密封部件4可对阀管本体1内部空间进行灵活密封。[0027] 请参阅图1、图2、图3、图4，阀管本体1中部的表面安装有联动部件5，联动部件5由电动推杆51和联动板52组成，且电动推杆51的输出端与联动板52中部的底面固定连接，电动推杆51底部的表面与阀管本体1顶部的表面之间固定连接有支座，联动部件5为两个内密封部件4后续自动移动提供自动化条件。[0028] 请参阅图1、图2、图3，联动部件5顶部的两侧与两个内密封部件4的顶部之间均设置有锁合部件6，锁合部件6的内部包括有螺纹杆61、锁合螺母62、限位套63，且螺纹杆61与锁合螺母62分别固定连接在T型杆41的顶面和固定套接在T型杆41顶部的表面，螺纹杆61的中部卡接在电动推杆51的内侧，且螺纹杆61的顶部与限位套63螺纹连接，外密封部件3、内密封部件4、联动部件5、锁合部件6、流道槽7、进液管8以及排液管件11配合阀管本体1组装后，可形成清洗除酸机构，后续配合阀管本体1、单向阀芯部件2形成的单向阀共同使用后，可在单向阀输送清洗设备产生酸性废液的使用暂停间隙，对单向阀芯部件2整体以及阀管本体1的内壁进行快速冲洗，除酸，避免单向阀芯部件2以及阀管本体1内壁被腐蚀，提升单向阀的使用寿命。[0029] 请参阅图1、图2、图3、图4，阀管本体1中部的内壁开设有环形槽9，且环形槽9的内侧与单向阀芯部件2的一端安装有测压部件10，测压部件10的内部包括有压力传感器101、弹性密封片102以及同步顶压杆103，且压力传感器101与弹性密封片102均固定套接在环形槽9的内部，且压力传感器101一侧的侧面与弹性密封片102一侧的侧面紧密贴合，弹性密封片102另一侧的侧面活动连接有固定套板23，固定套板23的另一端以卡接的方式贯穿阀管本体1台阶状中空腔体固定连接在锥形中空堵头21一端的表面，压力传感器101通过导线电性连接有控制器12，测压部件10、控制器12配合组装后，形成对单向阀芯部件2在阀管本体1内部复位的测压结构，及时发现单向阀芯部件2的移动异常，更换整体单向阀，降低损失，阀管本体1一端的底部固定套接有排液管件11，排液管件11由中空管体和密封盖，且密封盖与中空管体的一端螺纹锁合。[0030] 综上，本申请提供的一种用于半导体硅环刻蚀清洗的单向阀，在输液使用时，输送液体从阀管本体1的一端进入，随后流动液体挤压单向阀芯部件2内部的锥形中空堵头21和压缩弹簧22，进而使锥形中空堵头21、测压部件10内部的同步顶压杆103进行移动让位、压缩弹簧22受压收缩，随后液体通过锥形中空堵头21的让位孔、固定套板23中部的让位空间流出阀管本体1的另一端，非输液使用时，单向阀芯部件2内部的锥形中空堵头21在压缩弹簧22的作业下，移动复位，重新封闭阀管本体1中部的空间；[0031] 而在锥形中空堵头21复位过程中，锥形中空堵头21将推移测压部件10内部的同步顶压杆103进行同步复位移动，同步顶压杆103将重新透过弹性密封片102挤压压力传感器101，而当压缩弹簧22失效时，压力传感器101将不向控制器12输送压力信号，工作人员通过控制器12发现异常，及时维修更换。[0032] 而当需要对阀管本体1与单向阀芯部件2形成的单向阀进行清洗除酸时，关闭联动部件5内部的电动推杆51，电动推杆51通过联动板52、锁合部件6带动两个内密封部件4进行下移，继而利用内密封部件4对阀管本体1两端的空间进行封闭，随后打开排液管件11内部的密封盖，然后通过两个进液管8分别向两个内密封部件4内部的流道槽7输送清水，水流进入到阀管本体1的内部。对阀管本体1的内壁和单向阀芯部件2进行冲洗，除酸，废液通过排液管件11内部的中空管体收集。[0033] 最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不驱使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

专利地区：江苏

专利申请日期：2022-07-13

专利公开日期：2024-11-29

专利公告号：CN115435119B