开云优惠体育网页版入口

专利名称：一种带磁力耦合PIN的增粘单元

专利类型：发明专利

专利申请号：CN202110493685.8

专利申请（专利权）人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
权利人地址：辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

专利发明（设计）人：张逢洋,胡乃涛,张怀东,符平平

专利摘要：本发明属于晶圆制造设备领域，具体地说是一种带磁力耦合PIN的增粘单元。包括盘盖、盘体与贯穿盘体的PIN组件，还包括设有外磁环的外磁环固定座以及分隔管，且PIN组件上设有内磁环。设有外磁环的外磁环固定座由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有内磁环的PIN组件上下移动。本发明通过设有外磁环的外磁环固定座、设有内磁环的PIN组件以及分隔管的配合设置，起到保证盘盖和盘体构成的工艺腔体的不与外界相通的密封作用，且密封效果不会受到PIN组件上下运动的影响而产生磨损变差，延长了增粘单元的维护时间间隔和使用寿命，运行可靠。

主权利要求：
1.一种带磁力耦合PIN的增粘单元，包括盘盖(001)、盘体(002)与贯穿盘体(002)的PIN组件(003)，其特征在于：所述PIN组件(003)的外部套设有密封固定在盘体(002)上的分隔管(1)，所述PIN组件(003)的上端为与晶圆的接触端、始终位于所述分隔管(1)内的下端沿轴向设有若干个内磁环(2)，所有所述内磁环(2)的磁极设置方向相同，所述内磁环(2)之间设有套设在所述PIN组件(003)上、用于分隔所述内磁环(2)的内磁环隔环(3)，所述分隔管(1)的内腔与盘盖(001)和盘体(002)构成的工艺腔体相连通，所述分隔管(1)远离盘体(002)的开口为密封结构；
所述分隔管(1)的外部套设有外磁环固定座(4)，所述外磁环固定座(4)的内壁上沿轴向设有若干个外磁环(5)，所有所述外磁环(5)的磁极设置方向相同，且所述外磁环(5)的磁极设置方向与所述内磁环(2)的磁极设置方向相反、并能够相互吸引，相邻所述外磁环(5)之间设有起到分隔作用的外磁环隔环(6)；
设有所述外磁环(5)的所述外磁环固定座(4)由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有所述内磁环(2)的PIN组件(003)上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述外磁环固定座(4)与气缸连接板(7)固定连接，所述气缸连接板(7)与外接气缸的活塞杆连接，所述外磁环固定座(4)由外接气缸带动。
3.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述分隔管(1)远离盘体(002)的开口通过密封堵(8)和密封圈A(9)进行密封。
4.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述PIN组件(003)伸入至所述分隔管(1)内部的部分还安装有采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环A(10)，所述支撑环A(10)的内表面与所述PIN组件(003)的外表面相抵接，所述支撑环A(10)的外表面与所述分隔管(1)的内壁相抵接。
5.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述外磁环固定座(4)的内壁上还安装有采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环B(11)，所述支撑环B(11)的内表面与所述分隔管(1)的外壁相抵接，所述支撑环B(11)的外表面与所述外磁环固定座(4)的内壁相抵接。
6.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述分隔管(1)上端与盘体(002)的连接处设有密封圈B(12)。 说明书 : 一种带磁力耦合PIN的增粘单元技术领域[0001] 本发明涉及半导体设备的增粘单元，具体地说是一种带磁力耦合PIN的增粘单元。背景技术[0002] 增粘工艺是半导体涂胶工艺中重要的一个步骤，用于增强光刻胶和基底的粘合度，由涂胶机中专用的增粘单元完成。增粘工艺具体过程为将晶圆放入增粘单元盘体后，PIN组件下降，晶圆落到盘面上，然后盘盖下降到和高温盘体贴合，此时在真空环境下喷洒HMDS(六甲基二硅胺)蒸汽，改变晶圆表面的性质，由亲水性变为疏水性，工艺完成后盘盖升起，PIN组件升起，晶圆被取出。而涂胶机增粘单元运动部件密封性一直是影响增粘单元安全性的重要因素，运动部件主要有盘盖和盘体的相对运动，PIN组件和盘体间的相对运动。[0003] PIN组件和盘体之间的密封目前主流的方案是在PIN组件003和盘体002之间安装密封圈C004(如图1所示)，密封圈C004安装于盘体002上；也有采用在PIN组件003和盘体002之间安装波纹管005的方式进行密封的(如图2所示)，波纹管005材质可以是不锈钢，也可以是耐高温塑料。将晶圆放入增粘单元盘体002后，PIN组件003下降，晶圆落到盘体002盘面上，然后盘盖001下降到和盘体002贴合，盘盖001和盘体002之间一般会安装密封圈D006密封。此时在真空环境下喷洒HMDS蒸汽，改变晶圆表面的性质，由亲水性变为疏水性，工艺完成后盘盖001升起，PIN组件003升起，晶圆被取出。[0004] 现有增粘单元采用密封圈C004密封的PIN组件003与盘体002之间的密封圈C004会随着使用而磨损，磨损后密封圈C004失效,PIN组件003与盘体002密封处出现的间隙因内部负压环境的原因，会有气体吹入单元内部,导致做增粘工艺时晶圆发生偏移，或者保压失败导致HMDS泄露。而采用波纹管005密封时，金属波纹管一般直径较大，PIN组件003升降过程中，保温管内部气体因波纹管压缩而喷出，也会导致小尺寸晶圆发生偏移，另塑料波纹管受热后刚度较。诓勘湮婵栈肪呈，在外界大气压的作用下易发生变形，影响密封效果。现有增粘单元PIN组件的密封结构因存在磨损而老化，使用寿命过短；而塑料波纹管密封结构因温度影响使用寿命，老化后对晶圆处理时均会使晶圆偏移。发明内容[0005] 针对上述问题，本发明的目的在于提供一种带磁力耦合PIN的增粘单元。[0006] 本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：[0007] 一种带磁力耦合PIN的增粘单元，包括盘盖、盘体与贯穿盘体的PIN组件，所述PIN组件的外部套设有密封固定在盘体上的分隔管，所述PIN组件的上端为与晶圆的接触端、始终位于所述分隔管内的下端沿轴向设有若干个内磁环，所有所述内磁环的磁极设置方向相同，所述内磁环之间设有套设在所述PIN组件上、用于分隔所述内磁环的内磁环隔环，所述分隔管的内腔与盘盖和盘体构成的工艺腔体相连通，所述分隔管远离盘体的开口为密封结构；[0008] 所述分隔管的外部套设有外磁环固定座，所述外磁环固定座的内壁上沿轴向设有若干个外磁环，所有所述外磁环的磁极设置方向相同，且所述外磁环的磁极设置方向与所述内磁环的磁极设置方向相反、并能够相互吸引，相邻所述外磁环之间设有起到分隔作用的外磁环隔环；[0009] 设有所述外磁环的所述外磁环固定座由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有所述内磁环的PIN组件上下移动。[0010] 所述外磁环固定座与气缸连接板固定连接，所述气缸连接板与外接气缸的活塞杆连接，所述外磁环固定座由外接气缸带动。[0011] 所述分隔管远离盘体的开口通过密封堵和密封圈A进行密封。[0012] 所述PIN组件伸入至所述分隔管内部的部分还安装有采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环A，所述支撑环A的内表面与所述PIN组件的外表面相抵接，所述支撑环A的外表面与所述分隔管的内壁相抵接。[0013] 所述外磁环固定座的内壁上还安装有采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环B，所述支撑环B的内表面与所述分隔管的外壁相抵接，所述支撑环B的外表面与所述外磁环固定座的内壁相抵接。[0014] 所述分隔管上端与盘体的连接处设有密封圈B。[0015] 本发明的优点与积极效果为：[0016] 本发明通过设有外磁环的外磁环固定座、设有内磁环的PIN组件以及分隔管的配合设置，起到保证盘盖和盘体构成的工艺腔体的不与外界相通的密封作用，且密封效果不会受到PIN组件上下运动的影响而产生磨损变差，延长了增粘单元的维护时间间隔和使用寿命，运行可靠。附图说明[0017] 图1为现有技术中的PIN组件与盘体之间采用密封圈进行密封的结构示意图；[0018] 图2为现有技术中的PIN组件与盘体之间采用波纹管进行密封的结构示意图；[0019] 图3为本发明的工作原理示意图；[0020] 图4为本发明的具体结构示意图；[0021] 图5为图4的A处放大图；[0022] 图6为图4的B处放大图。[0023] 图中：1?分隔管、2?内磁环、3?内磁环隔环、4?外磁环固定座、5?外磁环、6?外磁环隔环、7?气缸连接板、8?密封堵、9?密封圈A、10?支撑环A、11?支撑环B、12?密封圈B、001?盘盖、002?盘体、003?PIN组件、004?密封圈C、005?波纹管、006?密封圈D。具体实施方式[0024] 下面结合附图3?6对本发明作进一步详述。[0025] 一种带磁力耦合PIN的增粘单元，包括盘盖001、盘体002与贯穿盘体002的PIN组件003，PIN组件003的外部套设有分隔管1，本实施例中分隔管1为不锈钢管，分隔管1的上端与盘体002密封固定连接，PIN组件003的上端为与晶圆的接触端、始终位于分隔管1内的下端沿轴向设有若干个内磁环2，所有内磁环2的磁极设置方向相同，内磁环2之间设有套设在PIN组件003上、用于分隔内磁环2的内磁环隔环3，分隔管1的内腔与盘盖001和盘体002构成的工艺腔体相连通，分隔管1远离盘体001的开口为密封结构。[0026] 分隔管1的外部套设有外磁环固定座4，外磁环固定座4的内壁上沿轴向设有若干个外磁环5，所有外磁环5的磁极设置方向相同，且外磁环5的磁极设置方向与内磁环2的磁极设置方向相反、并能够相互吸引，相邻外磁环5之间设有起到分隔作用的外磁环隔环6。[0027] 设有外磁环5的外磁环固定座4由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有内磁环2的PIN组件003上下移动。[0028] 具体而言，外磁环固定座4与气缸连接板7固定连接，气缸连接板7与外接气缸的活塞杆连接，外磁环固定座4由外接气缸带动。[0029] 具体而言，分隔管1远离盘体002的开口通过密封堵8和密封圈A9进行密封，以保证分隔管1的内腔不与外界相连通。[0030] 具体而言，PIN组件003伸入至分隔管1内部的部分还安装有采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环A10，支撑环A10的内表面与PIN组件003的外表面相抵接，支撑环A10的外表面与分隔管1的内壁相抵接，采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环A10的设置起到支撑PIN组件003的作用，使PIN组件003在分隔管1的内部稳定上下移动的同时还对PIN组件003起到润滑作用。[0031] 具体而言，外磁环固定座4的内壁上还安装有采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环B11，支撑环B11的内表面与分隔管1的外壁相抵接，支撑环B11的外表面与外磁环固定座4的内壁相抵接，采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环B11的设置起到支撑外磁环固定座4的作用，使外磁环固定座4在分隔管1的外侧稳定上下移动的同时还对外磁环固定座4起到润滑作用。[0032] 具体而言，分隔管1上端与盘体002的连接处设有密封圈B12，起到对分隔管1与盘体002的连接处进行密封的作用。[0033] 工作原理：[0034] 设有外磁环5的外磁环固定座4由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有内磁环2的PIN组件003上下移动；PIN组件003上移时，PIN组件003的上端穿过盘体002后，支撑晶圆。设有外磁环5的外磁环固定座4、设有内磁环2的PIN组件003以及分隔管1的配合设置，起到保证盘盖001和盘体002构成的工艺腔体的不与外界相通的密封作用，且密封效果不会受到PIN组件003上下运动的影响而产生磨损变差，延长了增粘单元的维护时间间隔。

专利地区：辽宁

专利申请日期：2021-05-07

专利公开日期：2024-11-29

专利公告号：CN115308998B