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专利名称：一种多晶硅冷氢化洗涤系统

专利类型：实用新型专利

专利申请号：CN202410699066.8

专利申请（专利权）人：湖北远春石化设备制造有限公司
权利人地址：湖北省荆州市洪湖市曹市镇曹市大道12号

专利发明（设计）人：陈超,左宝君,别万,程琼芝,张为宏,王勇

专利摘要：本申请公开了一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其包括文丘里洗涤器、洗涤塔、分离罐、文丘里循环泵、冷凝器、中间冷凝液槽及洗涤液循环泵，中间冷凝液槽设置有用于对硅粉颗粒占比进行检测的检测装置；检测装置包括固定在中间冷凝槽外壁的支架、升降设置于支架上的框架、固定在框架上的采样管、用于过滤硅粉颗粒的过滤件、用于对硅粉颗粒干燥的干燥机构、用于检测溶液是否过滤充分的查看机构以及用于计算硅粉固态颗粒重量比的测算机构，过滤件设置于采样管内，采样管的顶端设置为开口。本申请具有对中间冷凝液槽中溶液硅粉颗粒重量占比进行检测的效果，提升多晶硅冷氢化洗涤系统运行效率。

主权利要求：
1.一种多晶硅冷氢化洗涤系统，包括用于接收进料的文丘里洗涤器、洗涤塔、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连的分离罐、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连并将洗涤液从洗涤塔抽入文丘里洗涤器中的文丘里循环泵、与洗涤塔并将洗涤塔内的气体冷凝的冷凝器、用于存储冷凝器冷凝液体的中间冷凝液槽(1)及将冷凝器中液体抽入洗涤塔中淋洗物料的洗涤液循环泵，其特征在于：所述中间冷凝液槽(1)设置有用于对硅粉颗粒占比进行检测的检测装置；
所述检测装置包括固定在所述中间冷凝液槽(1)外壁的支架(2)、升降设置于所述支架(2)上的框架(3)、固定设置于所述框架(3)上的采样管(4)、用于过滤硅粉颗粒的过滤件(5)、用于对硅粉颗粒干燥的干燥机构、用于检测溶液是否过滤充分的查看机构以及用于计算硅粉固态颗粒重量比的测算机构，所述过滤件(5)设置于所述采样管(4)内，所述采样管(4)的顶端设置为开口；所述采样管(4)包括固体管(6)以及液体管(7)，所述固体与所述液体管(7)之间通过固定组件实现可拆卸连接，所述固体管(6)的底端固定连接有插接环(8)，所述液体管(7)顶部内壁设置有用于所述插接环(8)插接的插接槽(9)，所述固体管(6)还设置有用于检测与所述液体管(7)之间密封性的密封组件；所述固定组件包括多个第一条齿(10)、多个第二条齿(11)以及用于实现所述第二条齿(11)往复运动的往复件(12)，所述插接环(8)外壁设置有用于放置所述第一条齿(10)的第一放置槽(14)，所述插接槽(9)内壁设置有用于所述第二条齿(11)滑动的第二放置槽(13)，所述第一条齿(10)与所述第二条齿(11)啮合连接，所述往复件(12)安装于所述液体管(7)外壁且其输出端与所述第二条齿(11)背面固定连接；所述框架(3)转动连接有支撑架(21)，所述固体管(6)与所述支撑架(21)固定连接，所述干燥机构位于所述支撑架(21)上，所述干燥机构包括多个吸水纸(23)、活动设置于所述支撑架(21)上的拉绳(24)、用于对所述拉绳(24)进行牵引的卷绕组件、以及用于保证所述吸水纸(23)与所述液体管(7)顶部贴合的导向组件，所述吸水纸(23)位于所述固体管(6)开口处的上方，所述拉绳(24)运动方向为水平设置且沿着所述固体管(6)端面圆的径向方向，所述多个吸水纸(23)等间距固定在所述拉绳(24)上且所述吸水纸(23)的面积大于所述固体管(6)开口处面积；所述测算机构包括用于对硅粉固体颗粒进行测量的固体称重组件以及用于对液体进行称量的液体称重组件，所述固体称重组件包括天平秤(27)、用于将所述吸水纸(23)上硅粉颗粒推送至所述天平秤(27)上的推板(28)以及设置于所述推板(28)内的监测部，所述监测部用于对硅粉颗粒是否干燥进行检测，所述天平秤(27)固定在所述支撑架(21)上，所述推板(28)位于所述吸水纸(23)上方且所述推板(28)固定在所述支撑架(21)上，所述推板(28)底部与所述吸水纸(23)上表面贴合。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于：所述密封组件包括两个滑移设置于所述支架(2)上的弧形环(15)、两个分别驱动所述弧形环(15)运动的驱动件(16)、设置于所述弧形环(15)内的放电探头(17)、以及用于给所述固体管(6)顶部充入惰性气体的供给部，所述弧形环(15)朝向所述固体管(6)以及所述液体管(7)的一侧为开口设置，所述弧形环(15)将所述固体管(6)与所述液体管(7)连接位置罩设。龌⌒位(15)为透明材料制得，若所述弧形环(15)内气体变色则表示所述固体管(6)与所述液体管(7)连接位置不密封。
3.根据权利要求2所述的一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于：所述卷绕组件包括两个卷绕辊(26)以及两个卷绕电机，两个所述卷绕辊(26)分别位于所述固体管(6)的两侧，所述卷绕辊(26)与所述支撑架(21)转动连接，所述卷绕电机固定在所述支撑架(21)上且用于驱动所述卷绕辊(26)转动，所述导向组件包括两个升降设置于所述支撑架(21)上的导向辊(25)，两个所述导向辊(25)位于所述固体管(6)的两侧，所述导向辊(25)将所述固体管(6)两侧的拉绳(24)朝向所述固体管(6)方向牵引。
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于：所述推板(28)设置有监测孔(29)，所述监测部包括监测辊(30)、两个牵引辊(31)、两个牵引电机、牵引绳(32)以及多个遇水变色的试纸(33)，所述监测辊(30)固定设置于所述监测孔(29)处且所述监测辊(30)最下方的切面与所述吸水纸(23)上表面共面，所述监测辊(30)以及所述牵引辊(31)的轴线方向平行设置且均沿着所述吸水纸(23)的运动方向设置，所述牵引电机固定在所述推板(28)内且用于驱动所述牵引辊(31)转动，所述推板(28)在所述监测辊(30)朝向所述试纸(33)一侧的内部固定连接有色彩传感器(37)，所述色彩传感器(37)电性连接有蜂鸣器。
5.根据权利要求4所述的一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于：所述液体称重组件包括重力传感器(34)、固定在所述重力传感器(34)上的放置框(35)、与所述重力传感器(34)电性连接的显示屏以及用于连接所述框架(3)与所述液体管(7)的连接部，所述放置框(35)位于所述液体管(7)下方，所述放置框(35)设置有放置孔(36)，所述液体管(7)插接于所述放置孔(36)内，所述液体管(7)升降于所述框架(3)上。
6.根据权利要求5所述的一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其特征在于：所述连接部包括连接环(38)、两个电磁铁(39)以及用于驱动所述电磁铁(39)升降的动力件(40)，所述连接环(38)固定在所述液体管(7)的外壁，两个所述电磁铁(39)滑移在所述框架(3)上，所述电磁铁(39)对所述连接环(38)吸附。 说明书 : 一种多晶硅冷氢化洗涤系统技术领域[0001] 本申请涉及多晶硅洗涤技术领域，尤其是涉及一种多晶硅冷氢化洗涤系统。背景技术[0002] 目前多晶硅冷氢化洗涤塔中的液位计因塔内物料有腐蚀性、粘附性和少量硅粉导致其无法准确测量，不仅造成工艺操作难度加大，还难以保障生产平稳性，目前常采用液位计斜向安装以及液位计测量管道增加反冲洗装置等方式，但在运行一端时间后，都会出现管道被硅粉堵死的情况。[0003] 相关技术中申请号为CN201310372363.3的中国专利，提出了一种多晶硅冷氢化洗涤系统，其包括用于接收进料的文丘里洗涤器、洗涤塔、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连的分离罐、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连并将洗涤液从洗涤塔抽入文丘里洗涤器中的文丘里循环泵、与洗涤塔并将洗涤塔内的气体冷凝的冷凝器及将冷凝器中液体抽入洗涤塔中淋洗物料的洗涤液循环泵。多晶硅冷氢化洗涤系统还包括连接洗涤液循环泵及文丘里洗涤器的安全管路。上述多晶硅冷氢化洗涤系统，若文丘里循环泵发生故障不工作，导致洗涤塔内压力不断升高，安全管路开通，洗涤液循环泵抽取的一部分洗涤液可以直接进入文丘里洗涤器，经分离罐到洗涤塔内洗涤循环，保持洗涤塔内的压力稳定，防止爆塔。[0004] 针对上述中的相关技术，发明人认为存在有以下缺陷：气体在冷凝器内经过三级冷凝后成为洗涤液(主要为四氯化硅和三氯氢硅的液体)进入到中间凝液槽内，中间凝液槽内的洗涤液直接抽至洗涤塔内对进入到洗涤塔内物料进行冲洗，但是若原本气体中依旧携带硅粉固体颗粒多，则会导致冷凝后的洗涤液中硅粉固体颗粒也多，若直接抽至洗涤塔内冲洗物料，会增重洗涤塔的清洗压力，而固态颗粒越多，对洗涤塔的净化效果以及净化效率均降低，因此在将中间凝液槽内洗涤液抽至洗涤塔之前，亟需解决中间凝液槽内硅粉固体颗粒比例是否占比大的问题。发明内容[0005] 为了改善中间凝液槽内硅粉固体颗粒比例是否占比大的问题，本申请提供一种多晶硅冷氢化洗涤系统。[0006] 本申请提供的一种多晶硅冷氢化洗涤系统采用如下的技术方案：[0007] 一种多晶硅冷氢化洗涤系统，包括用于接收进料的文丘里洗涤器、洗涤塔、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连的分离罐、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连并将洗涤液从洗涤塔抽入文丘里洗涤器中的文丘里循环泵、与洗涤塔并将洗涤塔内的气体冷凝的冷凝器、用于存储冷凝器冷凝液体的中间冷凝液槽及将冷凝器中液体抽入洗涤塔中淋洗物料的洗涤液循环泵，所述中间冷凝液槽设置有用于对硅粉颗粒占比进行检测的检测装置；[0008] 所述检测装置包括固定在所述中间冷凝槽外壁的支架、升降设置于所述支架上的框架、固定在所述框架上的采样管、用于过滤硅粉颗粒的过滤件、用于对硅粉颗粒干燥的干燥机构、用于检测溶液是否过滤充分的查看机构以及用于计算硅粉固态颗粒重量比的测算机构，所述过滤件设置于所述采样管内，所述采样管的顶端设置为开口。[0009] 可选的，所述采样管包括固体管以及液体管，所述固体与所述液体管之间通过固定组件实现可拆卸连接，所述固体管的底端固定连接有插接环，所述液体管顶部内壁设置有用于所述插接环插接的插接槽，所述固定管还设置有用于检测与所述液体管之间密封性的密封组件。[0010] 可选的，所述固定组件包括多个第一条齿、多个第二条齿以及用于实现所述第二条齿往复运动的往复件，所述插接环外壁设置有用于放置所述第一条齿的第一放置槽，所述插接槽内壁设置有用于所述第二条齿滑动的第二放置槽，所述第一条齿与所述第二条齿啮合连接，所述往复件安装于所述液体管外壁且其输出端与所述第二条齿背面固定连接。[0011] 可选的，所述密封组件包括两个滑移设置于所述支架上的弧形环、两个分别驱动所述弧形环运动的驱动件、设置于所述弧形环内的放电探头、以及用于给所述固体管顶部充入惰性气体的供给部，所述弧形环朝向所述固体管以及所述液体管的一侧为开口设置，所述弧形环将所述固体管与所述液体管连接位置罩设。龌⌒位肺该鞑牧现频，若所述弧形环内气体变色则表示所述固体管与所述液体管连接位置不密封。[0012] 可选的，所述框架转动连接有支撑架，所述固体管与所述支撑架固定连接，所述干燥组件位于所述支撑架上，所述干燥组件包括多个吸水纸、活动设置于所述支撑架上的拉绳、用于对所述拉绳进行牵引的卷绕组件、以及用于保证所述吸水纸与所述液体管顶部贴合的导向组件，所述吸水纸位于所述固体管开口处的上方，所述拉绳运动方向为水平设置且沿着所述固体管端面圆的径向方向，所述多个吸水纸等间距固定在所述拉绳上且所述吸水纸的面积大于所述固体管开口处面积。[0013] 可选的，所述卷绕组件包括两个卷绕辊以及两个卷绕电机，两个所述卷绕辊分别位于所述固体管的两侧，所述卷绕辊与所述支撑架转动连接，所述卷绕电机固定在所述支撑架上且用于驱动所述卷绕辊转动，所述导向组件包括两个升降设置于所述支撑架上的导向辊，两个所述导向辊位于所述固体管的两侧，所述导向辊将所述固体管两侧的拉绳朝向所述固体管方向牵引。[0014] 可选的，所述测算机构包括用于对硅粉固体颗粒进行测量的固体称重组件以及用于对液体进行陈亮的液体称重组件，所述固体称重组件包括天平秤、用于将所述吸水纸上硅粉颗粒推送至所述天平秤上的推板以及设置于所述推板内的监测部，所述监测部用于对硅粉颗粒是否干燥进行检测，所述天平秤固定在所述支撑架上，所述推板位于所述吸水纸上方且所述推板固定在所述支撑架上，所述推板底部与所述吸水纸上表面贴合。[0015] 可选的，所述推板设置有监测孔，所述监测部包括监测辊、两个牵引辊、两个牵引电机、牵引绳以及多个遇水变色的试纸，所述监测辊固定设置于所述监测孔处且所述监测辊最下方的切面与所述吸水纸上表面共面，所述监测辊以及所述牵引辊的轴线方向平行设置且均沿着所述吸水纸的运动方向设置，所述牵引电机固定在所述推板内且用于驱动所述牵引辊转动，所述推板在所述监测辊朝向所述试纸一侧的内部固定连接有色彩传感器，所述色彩传感器电性连接有蜂鸣器。[0016] 可选的，所述液体称重组件包括重力传感器、固定在所述重力传感器上的放置框、与所述重力传感器电性连接的显示屏以及用于连接所述框架与所述液体管的连接部，所述放置框位于所述液体管下方，所述放置框设置有放置孔，所述液体管插接于所述放置孔内，所述液体管升降于所述框架上。[0017] 可选的，所述连接部包括连接环、两个电磁铁以及用于驱动所述电磁铁升降的动力件，所述连接环固定在所述液体管的外壁，两个所述电磁铁滑移在所述框架上，所述电磁铁对所述连接环吸附。[0018] 综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：[0019] 1.当需要将吸水纸上的硅粉颗粒输送至天平秤上时，控制导向辊逐步远离固体管，并且在这个过程中拉绳需要一直保持绷直状态，此时吸水纸在其硬度性能作用下，吸水纸一直处于水平状态且逐步朝向远离固体管运动，直至拉绳完全处于水平状态，此时吸水纸回到初始位置即为位于天平秤的上方，控制两个卷绕电机同步且同向转动，卷绕辊对拉绳进行卷绕且将吸水纸拉动至天平秤位置，此时推板与吸水纸上硅粉颗粒抵接，随着吸水纸不断被拉动，硅粉颗粒运动至吸水纸周壁厚被推板从吸水纸推送且掉落至天平秤上，天平秤实现对硅粉颗粒进行测量称重；[0020] 2.首先通过将采样管伸入至中间冷凝液槽的液位下方，直至溶液从采样管的端部进入到采样管内，再将采样管从中间冷凝液槽内拉出，通过过滤件的作用下，硅粉颗粒被过滤件阻挡，通过干燥机构对过滤掉的硅粉颗粒进行干燥，固体管与液体管分离，两个导向辊将吸水纸两侧的拉上朝向固体管顶端牵引，直至吸水纸完全将固体管的顶端遮挡，此时转动电机控制支撑架转动至吸水纸位于固体管的下方，硅粉颗粒掉落至吸水纸上，吸水纸对溶液进行吸附，进而完成对硅粉颗粒的干燥效果；[0021] 3.当需要对液体管内溶液进行称重时，此时首先需要提前知道液体管与其他元器件自重，再将电磁铁断电后，连接环与电磁铁分离，控制连接环以及液体管朝向放置框运动，液体管插接于放置框内，此时得到重量为液体管自重与溶液的重量，该数值减掉液体管与其他元器件的自重数值即为溶液的数值，此时需要将硅粉颗粒重量除以溶液与硅粉颗粒重量之和即可得到硅粉颗粒的重量占比，可以经过多次测量后，得到平均值，若该重量占比超过正常数值，则不能将中间冷凝液槽中溶液直接用于洗涤塔中对物料进行洗涤，需要在文丘里洗涤器进行洗涤。附图说明[0022] 图1是本申请实施例的整体结构示意图；[0023] 图2是图1中A部分的放大示意图；[0024] 图3是图1中B部分的放大示意图；[0025] 图4是本申请实施例液体管、弧形环以及放电探头的示意图。[0026] 附图标记：1、中间冷凝液槽；2、支架；3、框架；4、采样管；5、过滤件；6、固体管；7、液体管；8、插接环；9、插接槽；10、第一条齿；11、第二条齿；12、往复件；13、第二放置槽；14、第一放置槽；15、弧形环；16、驱动件；17、放电探头；18、供气罐；19、气管；20、密封塞；21、支撑架；22、转动电机；23、吸水纸；24、拉绳；25、导向辊；26、卷绕辊；27、天平秤；28、推板；29、监测孔；30、监测辊；31、牵引辊；32、牵引绳；33、试纸；34、重力传感器；35、放置框；36、放置孔；37、色彩传感器；38、连接环；39、电磁铁；40、动力件。具体实施方式[0027] 以下结合附图1?4对本申请作进一步详细说明。[0028] 本申请实施例公开一种多晶硅冷氢化洗涤系统。参照图1，一种多晶硅冷氢化洗涤系统包括用于接收进料的文丘里洗涤器、洗涤塔、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连的分离罐、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连并将洗涤液从洗涤塔抽入文丘里洗涤器中的文丘里循环泵、与洗涤塔并将洗涤塔内的气体冷凝的冷凝器、用于存储冷凝器冷凝液体的中间冷凝液槽1及将冷凝器中液体抽入洗涤塔中淋洗物料的洗涤液循环泵，文丘里洗涤器一端用于进料并进行第一次洗涤，即接收待清洗的物料并在文丘里洗涤器内进行第一次清洗，该物料为经过多晶硅氢化系统后的物料，为携带有硅粉颗粒的气态的氯硅烷、氢气等，另一端与分离罐相连，用于将物料输出到分离罐内，并且在分离罐内实现气液分离，分离后的气液分别在分离罐上下两端通过管道进入到洗涤塔中，在洗涤塔中进行喷淋洗涤；洗涤塔上端与冷凝器相连，下端与排残管道相连，物料在洗涤塔内经过喷淋洗涤后，硅粉颗粒与洗涤液体一起成为残液，直接进入排残管道进行排残回收处理；而气体则经过洗涤塔上端通入冷凝器；冷凝器与中间凝液槽相连，气体在冷凝器24内经过三级冷凝后成为洗涤液，主要为四氯化硅和三氯氢硅的液体，再通入中间凝液槽暂存；洗涤液循环泵同时与洗涤塔相连，洗涤液循环泵抽取中间凝液槽中的洗涤液，输送回洗涤塔中喷淋洗涤进入洗涤塔的物料，在洗涤塔、冷凝器与中间凝液槽之间形成循环洗涤，最终将硅粉颗粒从气体中洗去后通过排残管道与残液一起排出处理。[0029] 参照图1和图2，为了实现对中间冷凝液槽1中硅粉颗粒的占比进行检测，中间冷凝液槽1设置有用于对硅粉颗粒占比进行检测的检测装置，检测装置包括固定在中间冷凝槽外壁的支架2、升降设置于支架2上的框架3、固定在框架3上的采样管4、用于过滤硅粉颗粒的过滤件5、用于对硅粉颗粒干燥的干燥机构、用于检测溶液是否过滤充分的查看机构以及用于计算硅粉颗粒重量比的测算机构，过滤件5设置于所述采样管4内，首先通过将采样管4伸入至中间冷凝液槽1的液位下方，直至溶液从采样管4的端部进入到采样管4内，再将采样管4从中间冷凝液槽1内拉出，过滤件5采用滤布或者粒径较小的滤网，本实施中优选为滤布，且该滤布具有耐腐蚀的性能，通过过滤件5的作用下，硅粉颗粒被过滤件5阻挡，此时在通过干燥机构对过滤掉的硅粉颗粒进行干燥，而查看机构在本实施例中可以选用光源照射即可，且该光源也随时可以拆卸，采样管4采用透明的玻璃制得，进而可以利用光源照射即可判断采样管4内溶液是否过滤充分，若没有过滤充分则需要将溶液导出后再次进行过来，本实施例中采样管4包括固体管6以及液体管7，固态管与液体管7为可拆卸连接，因此待固体管6与液体管7分离后，将液体管7内液体导出，再将固态管与液体管7连接，最后将导出的溶液导入至固体管6内，再次进行过滤；最后测算机构通过对硅粉颗粒进行称重，且对液体进行称重后得知硅粉颗粒的重量占比。[0030] 参照图1和图2，固体与所述液体管7之间通过固定组件实现可拆卸连接，固体管6的底端固定连接有插接环8，液体管7的顶部内壁设置有用于插接环8插接的插接槽9，过滤件5位于固体管6的底部，当插接环8插接于插接槽9内后，固体管6与液体管7外壁重合在一起，便于进行采样操作以及后续密封检测工作，固定组件包括多个第一条齿10、多个第二条齿11以及用于实现第二条齿11往复运动的往复件12，第一条齿10以及第二条齿11的数量均设置为两个，两个第一条齿10以及两个第二条齿11相对于固体管6的中心轴线为对称设置，插接槽9内壁设置有用于第二条齿11滑动的第二放置槽13，插接环8外壁设置有用于放置第一条齿10的第一放置槽14，第一条齿10与第二条齿11啮合连接，往复件12安装于液体管7外壁且其输出端与第二条齿11的背面固定连接，动力件40在本实施例中选用电推杆即可，且需要再电推杆外壁安装防护箱，用于避免电推杆被损伤，第二条齿11的运动方向沿着液体管7截面圆的半径方向，当插接环8插接于插接槽9内后，且可在插接环8与插接槽9对应内壁安装密封圈，再将第二条齿11与第一条齿10啮合连接，实现固体管6与液体管7之间固定连接效果。[0031] 参照图1和图4，密封组件包括两个滑移设置于支架2上的弧形环15、两个分别驱动弧形环15运动的驱动件16、设置于弧形环15内的放电探头17、以及用于给固体管6顶部充入惰性气体的供给部，弧形环15朝向固体管6以及液体管7的一侧为开口设置，框架3也设置有用于弧形环15运动至指定位置的避让口，并且弧形环15也避开往复件12，弧形环15的初始位置位于液面上方且一直位于液面上方，采样过程中只需要采样管4插入到液体下方即可，弧形环15朝向固体管6以及液体管7的一侧为开口设置，弧形环15的截面半径与固定管以及液体管7适配，弧形环15将固体管6以及液体管7连接位置罩设。⌒位15为透明材料制得且耐高温，供给部包括密封塞20、固定在密封塞20上的气管19以及供气罐18，供气罐18将气体压入至气管19内，本实施例中由于惰性气体经过电流产生颜色的机制是电子跃迁和能量释放的过程，由于不同惰性气体原子的外层轨道能量不同，电子跃迁所释放的能量也不同，从而产生了不同颜色的光，氖气在电流激发下发出的是红色光；氩气可以发出浅蓝色的光；氪气则发出蓝绿色的光，本实施例中上述三种气体均可以选择；密封塞20升降设置于框架3上，密封塞20的升降通过电推杆实现即可，密封塞20插接于液体管7的开口处，两个弧形环15将固体管6与液体管7连接位置套设。诺缣酵17开始放电，若固体管6与液体管7连接位置不密封时，此时惰性气体进入到弧形环15内，在放电探头17的放电作用下，弧形环15内发生变色效应，此时则证明密封性不好，需要调整液体管7与固体管6的密封性。[0032] 参照图1和图3，当固体管6需要对硅粉颗粒进行称重时，首先需要对硅粉颗粒进行干燥，支撑架21转动连接有支撑架21，固体管6外壁与支撑架21固定连接，干燥组件设置于支撑架21上，干燥组件包括多个吸水纸23、活动设置于所述支撑架21上的拉绳24、用于对所述拉绳24进行牵引的卷绕组件、以及用于保证所述吸水纸23与所述液体管7顶部贴合的导向组件，多个吸水纸23等间距设置，多个吸水纸23均与拉绳24固定连接，吸水纸23选用材料硬度较大的，用于保证在不对吸水纸23施加作用力时，吸水纸23保持水平状态且不会发生变形，吸水纸23位于固体管6开口处的上方，且在采样过程中，吸水纸23也位于固体管6顶部的上方，拉绳24运动方向为水平设置且沿着固体管6端面圆的径向方向，在初始位置时，拉绳24不会妨碍密封塞20的运动，或者密封塞20将拉绳24一起带入至固体管6内，吸水纸23的面积大于固体管6开口处面积，进而可以确保吸水纸23将固体管6完全罩设住。[0033] 参照图1和图3，框架3固定连接有用于驱动支撑架21转动的转动电机22，转动电机22固定在框架3上，卷绕组件包括两个卷绕辊26以及两个卷绕电机，卷绕辊26分别位于固体管6的两侧，卷绕辊26与支撑架21转动连接，卷绕辊26的轴线方向为水平设置且沿着垂直于拉绳24的运动方向设置，拉绳24的两端分别与两个卷绕辊26固定连接，卷绕电机固定在支撑架21上且用于驱动卷绕辊26转动，导向组件包括两个升降设置于升降设置于导向辊25，两个导向辊25以及两个卷绕辊26分别位于固体管6的两侧，支撑架21沿着竖直方向滑移设置有导向块，导向辊25与导向块转动连接，导向辊25的轴线方向与卷绕辊26的轴线方向平行设置，导向块的升降采用电推杆实现；当需要对过滤件5上的硅粉颗粒进行烘干时，两个导向辊25将吸水纸23两侧的拉上朝向固体管6顶端牵引，直至吸水纸23完全将固体管6的顶端遮挡，此时转动电机22控制支撑架21转动至吸水纸23位于固体管6的下方，硅粉颗粒掉落至吸水纸23上，吸水纸23对溶液进行吸附，进而完成对硅粉颗粒的干燥效果。[0034] 参照图1和图3，测算机构包括用于对硅粉固体颗粒进行称重的固体称重组件以及用于对液体进行称重的液体称重组件，所述固体称重组件包括天平秤27、用于将吸水纸23上硅粉颗粒推送至天平秤27上的推板28以及设置于所述推板28内的监测部，监测部用于对硅粉颗粒是否干燥进行检测，天平秤27位于支撑架21的一侧，且此时天平秤27位于吸水纸23的下方，推板28固定在支撑架21上且需要确保推板28的底面与吸水纸23上表面贴合；而天平秤27的置物盘也位于吸水纸23的下方，当需要将吸水纸23上的硅粉颗粒输送至天平秤27上时，控制导向辊25逐步远离固体管6，并且在这个过程中拉绳24需要一直保持绷直状态，此时吸水纸23在其硬度性能作用下，吸水纸23一直处于水平状态且逐步朝向远离固体管6运动，直至拉绳24完全处于水平状态，此时吸水纸23回到初始位置即为位于天平秤27的上方，控制两个卷绕电机同步且同向转动，卷绕辊26对拉绳24进行卷绕且将吸水纸23拉动至天平秤27位置，此时推板28与吸水纸23上硅粉颗粒抵接，随着吸水纸23不断被拉动，硅粉颗粒运动至吸水纸23周壁厚被推板28从吸水纸23推送且掉落至天平秤27上，天平秤27实现对硅粉颗粒进行测量称重。[0035] 推板28还设置有监测孔29，监测部包括监测辊30、两个牵引辊31、两个牵引电机、牵引绳32以及多个遇水变色的试纸33，监测辊30固定于监测孔29处且监测辊30最下方的切面与吸水纸23上表面共面，而两个监测辊30分别位移牵引辊31的两侧，监测辊30以及牵引辊31的轴线方向平行设置且均沿着吸水纸23的运动方向设置，牵引绳32的两端分别与两个牵引辊31周壁固定连接，多个试纸33等间距固定在牵引绳32上，本实施例中有且仅有一个试纸33位于牵引辊31的位置上，牵引辊31将试纸33导向至刚好位移牵引辊31的正下方，由于中间冷凝槽的溶液中也存在部分水，本实施例中设定如水没有干燥彻底，即为硅粉颗粒也没有干燥完成，试纸33采用氯化亚钴试纸33，氯化亚钴试纸33遇到水后发生变红色，监测辊30朝向试纸33一侧的内壁固定连接有色彩传感器37，监测辊30设置有安装孔，色彩传感器37安装于安装孔内，色彩传感器37能够识别试纸33变成红色后的颜色，色彩传感器37电性连接有蜂鸣器，色彩传感器37通过PLC控制器与蜂鸣器控制连接，当色彩传感器37识别到试纸33变色后，则触发蜂鸣器开始报警。[0036] 参照图1和图3，液体称重组件包括重力传感器34、固定在重力传感器34上的放置管、与重力传感器34电性连接的显示屏以及用于连接框架3与所述液体管7的连接部，放置管位于液体管7下方，重力传感器34固定在框架3上，且重力传感器34通过PLC控制与显示屏控制连接，放置框35侧壁设置有多个孔洞，因此即使放置框35进入到溶液中，溶液也会从孔洞中流出，不会对液体管7内溶液重量造成影响，液体管7升降于框架3上，放置框35设置有用于放置液体管7的放置孔36，液体管7插接于放置孔36内，连接部包括连接环38、两个电磁铁39以及用于驱动所述连接环38升降的动力件40，连接环38固定在液体管7的外壁，两个电磁铁39滑移在框架3上且电磁铁39对连接环38吸附，液体管7的升降也通过动力件40实现，动力件40选用电推杆且电推杆也需要防护箱进行防护。[0037] 参照图1和图3，当需要对液体管7内溶液进行称重时，此时首先需要提前知道液体管7与其他元器件自重，控制电磁铁39以及液体管7朝向放置框35内运动，再将电磁铁39断电后，连接环38与电磁铁39分离，液体管7插接于放置框35内，此时得到重量为液体管7自重与溶液的重量，该数值减掉液体管7与其他元器件的自重数值即为溶液的数值，此时需要将硅粉颗粒重量除以溶液与硅粉颗粒重量之和即可得到硅粉颗粒的重量占比，本实施例可以经过多次测量后，得到平均值，若该重量占比超过正常数值，则不能将中间冷凝液槽1中溶液直接用于洗涤塔中对物料进行洗涤，需要在文丘里洗涤器进行洗涤。[0038] 本申请实施例一种多晶硅冷氢化洗涤系统的实施原理为：首先通过将采样管4伸入至中间冷凝液槽1的液位下方，直至溶液从采样管4的端部进入到采样管4内，再将采样管4从中间冷凝液槽1内拉出，通过过滤件5的作用下，硅粉颗粒被过滤件5阻挡，通过干燥机构对过滤掉的硅粉颗粒进行干燥，固体管6与液体管7分离，两个导向辊25将吸水纸23两侧的拉上朝向固体管6顶端牵引，直至吸水纸23完全将固体管6的顶端遮挡，此时转动电机22控制支撑架21转动至吸水纸23位于固体管6的下方，硅粉颗粒掉落至吸水纸23上，吸水纸23对溶液进行吸附，进而完成对硅粉颗粒的干燥效果。[0039] 当需要将吸水纸23上的硅粉颗粒输送至天平秤27上时，控制导向辊25逐步远离固体管6，并且在这个过程中拉绳24需要一直保持绷直状态，此时吸水纸23在其硬度性能作用下，吸水纸23一直处于水平状态且逐步朝向远离固体管6运动，直至拉绳24完全处于水平状态，此时吸水纸23回到初始位置即为位于天平秤27的上方，控制两个卷绕电机同步且同向转动，卷绕辊26对拉绳24进行卷绕且将吸水纸23拉动至天平秤27位置，此时推板28与吸水纸23上硅粉颗粒抵接，随着吸水纸23不断被拉动，硅粉颗粒运动至吸水纸23周壁厚被推板28从吸水纸23推送且掉落至天平秤27上，天平秤27实现对硅粉颗粒进行测量称重。[0040] 当需要对液体管7内溶液进行称重时，此时首先需要提前知道液体管7与其他元器件自重，再将电磁铁39断电后，连接环38与电磁铁39分离，控制连接环38以及液体管7朝向放置框35运动，液体管7插接于放置框35内，此时得到重量为液体管7自重与溶液的重量，该数值减掉液体管7与其他元器件的自重数值即为溶液的数值，此时需要将硅粉颗粒重量除以溶液与硅粉颗粒重量之和即可得到硅粉颗粒的重量占比，可以经过多次测量后，得到平均值，若该重量占比超过正常数值，则不能将中间冷凝液槽1中溶液直接用于洗涤塔中对物料进行洗涤，需要在文丘里洗涤器进行洗涤。[0041] 以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

专利地区：湖北

专利申请日期：2024-05-31

专利公开日期：2024-11-29

专利公告号：CN118666281B