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专利名称：一种金属掩膜板清洗装置

专利类型：发明专利

专利申请号：CN202010704190.0

专利申请（专利权）人：福建华佳彩有限公司
权利人地址：福建省莆田市涵江区涵中西路1号

专利发明（设计）人：发明人:林志斌,黄逸臻,涂嘉炜

专利摘要：本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，特别涉及一种金属掩膜板清洗装置，包括主清洗槽，主清洗槽内腔设有转动机构和支撑机构，转动机构固定设置在主清洗槽内腔，支撑机构位于转动机构上方且与转动机构固定连接，支撑机构靠近转动机构的一侧面上的相对两端边沿处分别设有防水气缸，防水气缸的伸缩端上连接有夹持机构，通过在主清洗槽内腔设置转动机构和支撑机构，将金属掩模板放到支撑机构上并用夹持机构夹持，在清洗时启动转动机构，转动机构转动带动支撑机构旋转进而使金属掩模板转动，这样使得金属掩膜板与主清洗槽内腔的清洗液之间产生一定的接触摩擦力，从而带动金属掩膜板上旧材料的脱落，提高清洗效果。

主权利要求：
1.一种金属掩膜板清洗装置，其特征在于，包括主清洗槽，所述主清洗槽内腔设有转动机构和支撑机构，所述转动机构固定设置在主清洗槽内腔，所述支撑机构位于转动机构上方且与转动机构固定连接，所述支撑机构靠近转动机构的一侧面上的相对两端边沿处分别设有防水气缸，所述防水气缸的伸缩端上连接有用于夹持金属掩膜板的夹持机构，所述支撑机构远离转动机构的一侧面用于放置金属掩膜板；
所述转动机构包括伺服电机和连杆，所述伺服电机固定在主清洗槽的槽底，所述伺服电机的输出轴与连杆的一端固定连接，与所述连杆的一端相对的另一端与支撑机构固定连接；
还包括暂存槽，所述暂存槽的进液口与主清洗槽的排液口之间通过第一液体管路连通；
所述第一液体管路上设有第一调速阀，所述主清洗槽的进液口处设有第二调速阀，所述暂存槽的排液口处设有第三调速阀；
所述暂存槽的排液口与主清洗槽的进液口之间通过第二液体管路连通，所述第二液体管路上设有蒸馏塔和抽液泵，所述蒸馏塔靠近主清洗槽的进液口的位置设置，所述抽液泵靠近暂存槽的排液口的位置设置。
2.根据权利要求1所述的金属掩膜板清洗装置，其特征在于，所述支撑机构为形状呈方形的支撑板，所述防水气缸设置在支撑板靠近转动机构的一侧面的直角边沿位置。
3.根据权利要求2所述的金属掩膜板清洗装置，其特征在于，所述防水气缸的数量为四个，四个所述防水气缸分别设置在支撑板靠近转动机构的一侧面的直角边沿位置，且位于对角的两个所述防水气缸位于同一对角线上。
4.根据权利要求1所述的金属掩膜板清洗装置，其特征在于，所述夹持机构包括互相垂直连接的第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板与第二夹持板连接形成用以固定金属掩膜板的夹持爪。 说明书 : 一种金属掩膜板清洗装置技术领域[0001] 本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，特别涉及一种金属掩膜板清洗装置。背景技术[0002] 有机发光显示(英文全称为OrganicLight?EmittingDiode，缩写为OLED)技术是当今显示领域最炙手可热的技术之一，其工艺主要有三大部分：TFT器件的制备、OLED器件的制备和薄膜封装；而OLED器件成膜一般采用真空蒸镀技术，此过程中采用金属掩膜板进行蒸镀，有机材料在蒸发源中受热后蒸发，通过金属掩模板在玻璃基板的显示区域成膜，随着不断的循环使用金属掩膜板，会有大量的有机发光材料附着上面，这些有机材料将影响金属掩膜板的精度或正常使用，因此会定期的清洗金属掩模板，避免影响OLED产品的质量和制造成本。[0003] 目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统有若干个清洗槽组成，而因为清洗槽自身结构的不够合理，使得清洗的效果不佳，无法满足要求，特别是对于精细金属掩膜板，更难使其清洗干净。发明内容[0004] 本发明所要解决的技术问题是：提供一种能够提高清洗效果的金属掩膜板清洗装置。[0005] 为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：[0006] 一种金属掩膜板清洗装置，包括主清洗槽，所述主清洗槽内腔设有转动机构和支撑机构，所述转动机构固定设置在主清洗槽内腔，所述支撑机构位于转动机构上方且与转动机构固定连接，所述支撑机构靠近转动机构的一侧面上的相对两端边沿处分别设有防水气缸，所述防水气缸的伸缩端上连接有用于夹持金属掩膜板的夹持机构，所述支撑机构远离转动机构的一侧面用于放置金属掩膜板。[0007] 本发明的有益效果在于：[0008] 通过在主清洗槽内腔设置转动机构和支撑机构，将金属掩模板放到支撑机构上并用夹持机构夹持，在清洗时启动转动机构，转动机构转动带动支撑机构旋转进而使金属掩模板转动，这样使得金属掩膜板与主清洗槽内腔的清洗液之间产生一定的接触摩擦力，从而带动金属掩膜板上旧材料的脱落，提高清洗效果；通过设置防水气缸能够起到伸缩控制夹持机构夹紧或者松开金属掩膜板的作用，而且当防水气缸被清洗液覆盖时，可以在液面下的环境中使用，具有一定的防水性能。附图说明[0009] 图1为根据本发明的一种金属掩膜板清洗装置的主清洗槽的结构示意图；[0010] 图2为根据本发明的一种金属掩膜板清洗装置的主清洗槽的仰视结构示意图；[0011] 图3为根据本发明的一种金属掩膜板清洗装置的局部结构示意图；[0012] 图4为根据本发明的一种金属掩膜板清洗装置的图3的俯视结构示意图；[0013] 图5为根据本发明的一种金属掩膜板清洗装置的结构示意图；[0014] 图6为根据本发明的一种金属掩膜板清洗装置的结构示意图；[0015] 图7为根据本发明的一种金属掩膜板清洗装置的结构示意图；[0016] 标号说明：[0017] 1、主清洗槽；11、转动机构；111、伺服电机；112、连杆；12、支撑机构；13、防水气缸；14、夹持机构；15、金属掩膜板；[0018] 2、暂存槽；[0019] 3、第一液体管路；[0020] 4、第一调速阀；[0021] 5、第二调速阀；[0022] 6、第三调速阀；[0023] 7、第二液体管路；[0024] 8、蒸馏塔；[0025] 9、抽液泵。具体实施方式[0026] 为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。[0027] 请参照图1，本发明提供的技术方案：[0028] 一种金属掩膜板清洗装置，包括主清洗槽，所述主清洗槽内腔设有转动机构和支撑机构，所述转动机构固定设置在主清洗槽内腔，所述支撑机构位于转动机构上方且与转动机构固定连接，所述支撑机构靠近转动机构的一侧面上的相对两端边沿处分别设有防水气缸，所述防水气缸的伸缩端上连接有用于夹持金属掩膜板的夹持机构，所述支撑机构远离转动机构的一侧面用于放置金属掩膜板。[0029] 从上述描述可知，本发明的有益效果在于：[0030] 通过在主清洗槽内腔设置转动机构和支撑机构，将金属掩模板放到支撑机构上并用夹持机构夹持，在清洗时启动转动机构，转动机构转动带动支撑机构旋转进而使金属掩模板转动，这样使得金属掩膜板与主清洗槽内腔的清洗液之间产生一定的接触摩擦力，从而带动金属掩膜板上旧材料的脱落，提高清洗效果；通过设置防水气缸能够起到伸缩控制夹持机构夹紧或者松开金属掩膜板的作用，而且当防水气缸被清洗液覆盖时，可以在液面下的环境中使用，具有一定的防水性能。[0031] 进一步的，所述转动机构包括伺服电机和连杆，所述伺服电机固定在主清洗槽的槽底，所述伺服电机的输出轴与连杆的一端固定连接，与所述连杆的一端相对的另一端与支撑机构固定连接。[0032] 由上述描述可知，在清洗时，启动伺服电机，伺服电机转动带动连杆转动，连杆转动带动支撑机构转动，利用底部与支撑框架通过连杆固定连接的伺服电机的旋转，进而使金属掩模板转动，这样使得金属掩膜板与主清洗槽内腔的清洗液之间产生一定的接触摩擦力，从而带动金属掩膜板上旧材料的脱落，提高清洗效果。[0033] 进一步的，所述支撑机构为形状呈方形的支撑板，所述防水气缸设置在支撑板靠近转动机构的一侧面的直角边沿位置。[0034] 进一步的，所述防水气缸的数量为四个，四个所述防水气缸分别设置在支撑板靠近转动机构的一侧面的直角边沿位置，且位于对角的两个所述防水气缸位于同一对角线上。[0035] 由上述描述可知，通过设置上述的结构，能够进一步提高夹持机构夹持的稳定性，从而达到更加优良的清洗效果。[0036] 进一步的，所述夹持机构包括互相垂直连接的第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板与第二夹持板连接形成用以固定金属掩膜板的夹持爪。[0037] 由上述描述可知，通过设置上述的结构，这样能够能够更好的夹紧金属掩膜板，能够避免金属掩膜板在清洗转动中产生位移而影响到清洗效果。[0038] 进一步的，还包括暂存槽，所述暂存槽的进液口与主清洗槽的排液口之间通过第一液体管路连通。[0039] 从上述描述可知，通过设置暂存槽用来暂存清洗液。[0040] 进一步的，所述第一液体管路上设有第一调速阀，所述主清洗槽的进液口处设有第二调速阀，所述暂存槽的排液口处设有第三调速阀。[0041] 从上述描述可知，通过在第一液体管路上设置第一调速阀，主清洗槽的进液口处设置第二调速阀，在暂存槽的排液口处设置第三调速阀，通过控制清洗液的流速，使得粘在金属掩膜板上面的有机材料被溶解后流走，从而达到更加优良的清洗效果。[0042] 进一步的，所述暂存槽的排液口与主清洗槽的进液口之间通过第二液体管路连通，所述第二液体管路上设有蒸馏塔和抽液泵，所述蒸馏塔靠近主清洗槽的进液口的位置设置，所述抽液泵靠近暂存槽的排液口的位置设置。[0043] 从上述描述可知，通过设置蒸馏泵和抽液泵，能够实现对清洗液进行提纯再使用，使清洗装置构成一个循环清洗系统，使得系统内液体保持良好的流动性，进一步提高清洗效果，使得清洗液的使用率大大提高，降低了生产成本。[0044] 请参照图1至图7，本发明的实施例一为：[0045] 请参照图1、图2、图3和图4，一种金属掩膜板清洗装置，包括主清洗槽1，所述主清洗槽1内腔设有转动机构11和支撑机构12，所述转动机构11固定设置在主清洗槽1内腔，所述支撑机构12位于转动机构11上方且与转动机构11固定连接，所述支撑机构12靠近转动机构11的一侧面上的相对两端边沿处分别设有防水气缸13，所述防水气缸13的伸缩端上连接有用于夹持金属掩膜板15的夹持机构14，所述支撑机构12远离转动机构11的一侧面用于放置金属掩膜板15。[0046] 请参照图3，所述转动机构11包括伺服电机111和连杆112，所述伺服电机111固定在主清洗槽1的槽底，所述伺服电机111的输出轴与连杆112的一端固定连接，与所述连杆112的一端相对的另一端与支撑机构12固定连接。[0047] 请参照图3和图4，所述支撑机构12为形状呈方形的支撑板，所述支撑板的材质为不锈钢或其它防锈蚀材料，所述防水气缸13设置在支撑板靠近转动机构11的一侧面的直角边沿位置。[0048] 请参照图3和图4，所述防水气缸13的数量为四个，四个所述防水气缸13分别设置在支撑板靠近转动机构11的一侧面的直角边沿位置，且位于对角的两个所述防水气缸13位于同一对角线上。[0049] 请参照图3和图4，所述金属掩膜板15的形状为方形，所述夹持机构14包括互相垂直连接的第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板和第二夹持板的形状均为方形，所述第一夹持板和第二夹持板的材质均为不锈钢，所述第一夹持板与第二夹持板连接形成用以固定金属掩膜板15的夹持爪。[0050] 请参照图5、图6和图7，还包括暂存槽2，所述暂存槽2的进液口与主清洗槽1的排液口之间通过第一液体管路3连通。[0051] 请参照图7，所述第一液体管路3上设有第一调速阀4，所述主清洗槽1的进液口处设有第二调速阀5，所述暂存槽2的排液口处设有第三调速阀6。[0052] 请参照图5、图6和图7，所述暂存槽2的排液口与主清洗槽1的进液口之间通过第二液体管路7连通，所述第二液体管路7上设有蒸馏塔8和抽液泵9，所述蒸馏塔8靠近主清洗槽1的进液口的位置设置，所述抽液泵9靠近暂存槽2的排液口的位置设置。[0053] 上述的金属掩膜板清洗装置的工作原理为：[0054] 在放入金属掩膜板15前，防水气缸13处于放开状态，此时支撑板与边角的四个夹持机构14之间形成的空间大于金属掩膜板15的大。沟媒鹗粞谀ぐ15能够正常放入，其放入后再控制防水气缸13收缩，同步控制夹持机构14夹紧金属掩膜板15，其夹紧力的大小通过防水气缸13的压力进行调控，使其不至于过大而导致金属掩膜板15产生变形，或过小又无法夹紧而在后续清洗转动中产生位移，在转动过程过程中根据水流量的大小进行自适应调整。[0055] 主清洗槽1的进液口所处的高度高于主清洗槽1的排液口所处的高度，如此便能顺利排除废液；主清洗槽1中排出的废液进入暂存槽2，其暂存槽2的进液口处于高位，暂存槽2的排液口处于低位；暂存槽2的液体排除需通过抽液泵9从低处往高处抽，进入蒸馏塔8内进行蒸馏提纯，蒸馏产生的废物直接从蒸馏塔8底部排出；通过设置第一调速阀4、第二调速阀5和第三调速阀6用于调整流速，控制一定的流速使得清洗效果最佳。[0056] 随着蒸镀次数和使用时间的增加，制造有机发光层的有机材料会在金属掩膜板15的表面及其蒸镀孔内逐渐累积，导致堵塞蒸镀孔，使得有机材料无法准确蒸镀到基板上形成所需的有机发光层，从而影响生产良率还增加生产成本，所以会定期的清洗或是再次投入前要清洗金属掩膜板15；金属掩模板主要分为开口掩模板和精细金属掩膜板15，开口掩模板开孔比较大有利于清洗，而精细金属掩膜板15开孔比较小清洗有一定的难度；本方案设计的清洗装置不仅适用于开口掩模板，而且还适用于精细金属掩膜板15。[0057] 综上所述，本发明提供的一种金属掩膜板清洗装置，通过在主清洗槽内腔设置转动机构和支撑机构，将金属掩模板放到支撑机构上并用夹持机构夹持，在清洗时启动转动机构，转动机构转动带动支撑机构旋转进而使金属掩模板转动，这样使得金属掩膜板与主清洗槽内腔的清洗液之间产生一定的接触摩擦力，从而带动金属掩膜板上旧材料的脱落，提高清洗效果；通过设置防水气缸能够起到伸缩控制夹持机构夹紧或者松开金属掩膜板的作用，而且当防水气缸被清洗液覆盖时，可以在液面下的环境中使用，具有一定的防水性能。[0058] 以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

专利地区：福建

专利申请日期：2020-07-21

专利公开日期：2024-10-15

专利公告号：CN111871939B